Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing: Fundamentals and Applications - Wiley-Scrivener - KA Reinhardt - Bøker - John Wiley & Sons Inc - 9780470625958 - 4. februar 2011
Ved uoverensstemmelse mellom cover og tittel gjelder tittel

Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing: Fundamentals and Applications - Wiley-Scrivener

KA Reinhardt

Pris
NOK 3.209

Bestillingsvarer

Forventes levert 17. - 27. jun
Legg til iMusic ønskeliste

Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing: Fundamentals and Applications - Wiley-Scrivener

This comprehensive volume provides an in-depth discussion of the fundamentals of cleaning and surface conditioning of semiconductor applications such as high-k/metal gate cleaning, copper/low-k cleaning, high dose implant stripping, and silicon and SiGe passivation.


590 pages, Illustrations

Media Bøker     Innbunden bok   (Bok med hard rygg og stivt omslag)
Utgitt 4. februar 2011
ISBN13 9780470625958
Utgivere John Wiley & Sons Inc
Antall sider 614
Mål 263 × 185 × 43 mm   ·   1,28 kg
Språk Engelsk  
Redaktør Reidy, Richard F.
Redaktør Reinhardt, Karen A.